- 國產MEMS壓力傳感器正在進入高端應用市場
- 汽車電子、新型數字消費電子和醫(yī)療電子對MEMS傳感器需求大
在軍事工程、化爆試驗、石油勘采與試井、土木工程學、巖土力學、創(chuàng)傷醫(yī)學、液壓動力機械試驗等科學試驗與現代化儀器儀表中，需要不失真地測量一些變化頻率高、壓力波形上升快陡的動態(tài)壓力波形與幅值、有效值，要求所用壓力傳感器具有較高的固有頻率、極短的上升時間和寬廣優(yōu)良的響應頻帶，以保證足夠的動態(tài)測壓精度。
隨著測量技術的飛速發(fā)展，對傳感器提出了更高的要求，尤其在高精度的流體動力學測試中，要求傳感器具有良好的動態(tài)特性。為了不影響流場狀態(tài)，提高測量的精度，還需壓力傳感器具有極小和極薄的外形，一般來講，外徑約為2 mm～8mm，或厚度2 mm～5mm，傳感器的尺寸漸趨小型化。近二十年來，壓力傳感器行業(yè)明顯加快了壓阻式替代淘汰應變式、厚膜陶瓷式壓力傳感器的步伐，MEMS技術逐步成為產業(yè)化技術主流。
受自身技術條件限制， 國內大多數壓力傳感器企業(yè)多把國內外產硅MEMS OEM產品作為壓力傳感器的關鍵部件，組裝后再行銷售，進入行業(yè)的門檻較低，資金運轉快。但對有高難度要求的高檔傳感器，企業(yè)既買不到相應的硅MEMS OEM產品，又不具備相應設計與特殊制作技術，因此基本無法進入這一細分市場。昆山雙橋傳感器測控技術有限公司充分利用其技術積累，從核心元件關鍵技術做起，基于MEMS微機械加工技術，自行研制的微型動態(tài)壓阻壓力傳感器能確保力敏硅膜片有效尺寸更小，固有頻率更高；此外，利用硅優(yōu)良的彈性力學特性，尤其是極高的楊氏彈性模量，加之低的電橋內阻抗，不僅利于獲得高頻響，而且有低至亞微秒的上升時間及非常干凈的幅頻特性曲線，可廣泛應用于要求傳感器尺寸小、對測試流場影響小、動態(tài)特性好的空氣動力學研究、風洞測控試驗等高端應用領域。微型壓力傳感器產品在雙橋傳感器公司已形成系列化，主要產品有Ф2mm、Ф3mm、Ф5mm、Ф8mm，涵蓋了對水、氣、油等多種介質的測量。產品完全為公司自主設計和開發(fā)，具有獨立的自主知識產權，表明國內企業(yè)在開發(fā)高、特、難、新壓力傳感器方面已經具有很強的技術實力。
汽車電子、新型數字消費電子和醫(yī)療電子等產業(yè)的快速發(fā)展，對MEMS傳感器的各種新需求和基于該技術的創(chuàng)新不斷涌現，MEMS傳感器的市場機會逐步顯現。此前昆山雙橋傳感器測控技術有限公司的基于MEMS技術的汽車壓力傳感器早已批量應用于汽車電子產業(yè)。另據該公司透露，未來的2年～3年，通用壓力傳感器的智能化生產技術將成為產業(yè)的熱點和焦點，為此，他們著重針對汽車壓力傳感器和特種傳感器市場，制定了相應的產業(yè)化發(fā)展策略，為客戶專制開發(fā)，在商業(yè)模式上采取藍海戰(zhàn)略，以高技術保證公司在細分市場上的成功。從昆山雙橋的行動上可以看出，國產MEMS壓力傳感器產品正在向汽車電子及一些高端應用等市場滲透。
