產(chǎn)品特性：

• 具有±10帕的高精度
• 0.1帕的高分辨能力
• 體積為12.5ml、重量為15g
• 壓力檢測范圍：50 ～ 150 kPa
• 工作溫度范圍：-20 ～ +70 ℃

應用范圍：

• 氣象觀測中大氣壓的高精度測試
• 大氣壓變化的高低差的測試
• 室內(nèi)門窗等開關的內(nèi)部壓力變化測試
• 高精度氣壓測試等新領域

Epson Toyocom公司開發(fā)出小型，高性能的水晶壓力傳感器，采用獨創(chuàng)的QMEMS技術制造出的壓力傳感結(jié)構(gòu)，以此開發(fā)出具有±10帕（約一萬分之一氣壓）的高精度與0.1帕的高分辨能力的高性能且體積為12.5ml、重量為15g的小型水晶絕對壓力傳感器。

預定2009年度將其商品化。

壓力傳感器在通常情況下存在下述技術課題：小型化時會造成性能下降；追求高性能時又不得不增大構(gòu)造。

Epson Toyocom在壓力檢測單元中采用音叉型晶體單元，由此得到安定度高的振蕩頻率，從而實現(xiàn)了具有高精度及高分辨能力的水晶壓力傳感器。
在此之上又使用QMEMS技術新開發(fā)出獨創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造，使同時具有小型及高性能——這兩種相對性能的產(chǎn)品的實現(xiàn)變?yōu)榭赡堋?/p>

為此，可以下述領域(例如：氣象或安全方面)為代表，在使用壓力傳感器的各種儀器的小型化及性能提高上做出巨大貢獻。

• 用于氣象觀測中大氣壓的高精度測試
• 用于大氣壓變化的高低差(以約1cm為單位的高度)的測試
• 用于測試室內(nèi)門窗等開關而造成的微小的內(nèi)部壓力變化

而且是通過搭載于周圍機器，可應用于高精度氣壓測試等新領域的可行性的產(chǎn)品。

現(xiàn)在，Epson Toyocom正將本產(chǎn)品所采用的獨創(chuàng)的壓力傳感構(gòu)造不斷推廣到其它能夠適用于各種用途的水晶壓力傳感器的開發(fā)上，今后亦將不斷推進使用基于QMEMS技術的超精微加工技術、晶體振蕩器中醞釀出的高安定振蕩電路技術以及高精度檢測技術的進化，創(chuàng)造出更高程度的高性能化和小型化。

主要規(guī)格