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LED產(chǎn)業(yè)鏈MOCVD障礙并非不可逾越

發(fā)布時間:2010-05-18 來源:中國電子報

機遇與挑戰(zhàn):
  • 游關(guān)鍵設(shè)備還需要依靠進(jìn)口
  • 完全克隆光伏設(shè)備做法行不通
  • 圍繞工藝開發(fā)才能適應(yīng)需求
市場數(shù)據(jù):
  • LED裝備業(yè)折舊占成本1/3

LED產(chǎn)業(yè)從材料設(shè)備、外延片生長、芯片制造到封裝及應(yīng)用的整個產(chǎn)業(yè)鏈中,設(shè)備再一次成為制約行業(yè)發(fā)展的薄弱環(huán)節(jié)。業(yè)內(nèi)專家表示,中國LED產(chǎn)業(yè)要想健康快速發(fā)展,一定要在關(guān)鍵設(shè)備、原材料上下工夫。

上游關(guān)鍵設(shè)備還需要依靠進(jìn)口

  ·LED生產(chǎn)設(shè)備種類繁多

  ·關(guān)鍵設(shè)備幾乎完全依賴進(jìn)口

據(jù)介紹,在LED生產(chǎn)過程中需要很多設(shè)備,從藍(lán)寶石襯底加工用的單晶爐、多線切割、研磨拋光等設(shè)備,到MOCVD(金屬有機化合物化學(xué)氣相淀積)、退火爐等設(shè)備,再到與IC芯片工藝相類似的設(shè)備,如光刻機、刻蝕機、清洗機、蒸發(fā)鍍膜等,最后到封裝用的固晶機、金絲/鋁絲球焊機、分選機等等,種類繁多。其中,MOCVD、等離子刻蝕機等技術(shù)含量很高的設(shè)備,國內(nèi)生產(chǎn)線全部依靠進(jìn)口。只有少數(shù)幾種設(shè)備實現(xiàn)了國產(chǎn)化,如中電科技集團(tuán)第45所研制的單線切割機、多功能粘片機、全自動焊線機、分光機、砂輪劃片機、激光劃切機等,都已經(jīng)在用戶生產(chǎn)線上使用。

中電科技集團(tuán)第48所研發(fā)中心副部長胡曉宇在接受采訪時表示,受國內(nèi)設(shè)備制造業(yè)整體水平低的限制,再加上進(jìn)口設(shè)備的擠壓以及國外設(shè)備專利技術(shù)的封鎖,國產(chǎn)LED設(shè)備(其中包括一部分IC芯片制造設(shè)備)整體水平落后,基本上處于實驗室水平,在設(shè)備產(chǎn)能、工藝水平、一致性、均勻性和可靠性方面與國際先進(jìn)水平相比還存在極大的差距。他表示,近年來國內(nèi)相關(guān)研究單位對LED生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)行了一些嘗試,在技術(shù)上取得了一些突破,如單晶爐、研磨拋光機等,但大都沒有在生產(chǎn)線上使用。因此,國產(chǎn)LED設(shè)備要進(jìn)入大生產(chǎn)線還有很長的路要走。

“LED產(chǎn)業(yè)鏈中最關(guān)鍵的上游設(shè)備,國內(nèi)完全是空白,還需要進(jìn)口,如MOCVD外延設(shè)備主要來自美國、德國和英國。在中游,生產(chǎn)芯片的設(shè)備現(xiàn)在有些企業(yè)已經(jīng)可以做了,如刻蝕機,使用的效果還可以,但同國外設(shè)備相比還有不小的差距。”晶能光電(江西)有限公司副總裁王敏說。

業(yè)內(nèi)人士表示,LED設(shè)備在研制過程中大都遇到了成本問題,設(shè)備的零部件大都選用進(jìn)口產(chǎn)品,而設(shè)備的售價卻遠(yuǎn)低于國外設(shè)備,這使得設(shè)備的利潤率很低。“目前大型的LED企業(yè)都享有國家設(shè)備進(jìn)口免稅政策,這對我們自己研發(fā)設(shè)備是非常不利的。”中電科技集團(tuán)第45所市場部副主任王海明說。

設(shè)備開發(fā)和工藝應(yīng)緊密結(jié)合

  ·完全克隆光伏設(shè)備做法行不通

  ·圍繞工藝開發(fā)才能適應(yīng)需求

國產(chǎn)設(shè)備已經(jīng)在太陽能光伏產(chǎn)業(yè)鏈上發(fā)揮了很大的作用,國產(chǎn)LED設(shè)備是否也能彌補LED產(chǎn)業(yè)鏈中缺失的一環(huán)?胡曉宇表示,LED產(chǎn)業(yè)與太陽能產(chǎn)業(yè)有許多相同點,但也有很大的區(qū)別,國產(chǎn)LED設(shè)備如果完全克隆光伏設(shè)備的做法肯定是行不通的。在所有的光伏設(shè)備中,并沒有哪一種設(shè)備像MOCVD一樣,在整個LED生產(chǎn)設(shè)備投資中占如此大的比重。國產(chǎn)LED設(shè)備廠商必須從MOCVD設(shè)備開始取得突破,才能逐步向前道和后道工藝設(shè)備不斷擴展,最終實現(xiàn)整個產(chǎn)業(yè)鏈的全部設(shè)備國產(chǎn)化。MOCVD設(shè)備的技術(shù)門檻很高,需要克服很多困難,投入大量的人力、物力、財力,整合各種優(yōu)勢資源,但這并非是不可逾越的。

中國電子專用設(shè)備行業(yè)協(xié)會秘書長金存忠說,LED不像光伏設(shè)備,它對技術(shù)和工藝的要求更高。目前國內(nèi)許多設(shè)備制造商力量薄弱,研發(fā)水平較低、關(guān)鍵零部件的生產(chǎn)工藝控制較差等問題造成國產(chǎn)設(shè)備的穩(wěn)定性和可靠性還達(dá)不到要求,導(dǎo)致國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)即使花大價錢也要買國外的設(shè)備。因此,國產(chǎn)設(shè)備要想在LED產(chǎn)業(yè)大發(fā)展過程中有所作為,一定要在穩(wěn)定性和一致性上做好文章。

王海明表示,在LED生產(chǎn)中,前道工藝需要突破MOCVD,該設(shè)備是芯片制造的關(guān)鍵設(shè)備,該設(shè)備長期依賴進(jìn)口,單臺價格在3000萬元左右,長期以來制約著我國LED芯片制造的發(fā)展;后道封裝設(shè)備中高速全自動金線鍵合機的需求量較大,國內(nèi)還無法批量提供設(shè)備。

王敏表示,MOCVD不是不可逾越,國內(nèi)是能夠做出來的,但是要做到高水平比較困難,現(xiàn)階段還沒有這個能力。他強調(diào),MOCVD生產(chǎn)設(shè)備可以引進(jìn)國外的技術(shù),如果完全依靠自己研發(fā)會比較慢。

LED發(fā)展到今天,制約其大面積推廣的因素還是上游的裝備業(yè)的發(fā)展水平,有數(shù)據(jù)顯示,現(xiàn)在LED裝備業(yè)的折舊占了成本的1/3。因此,如果大部分LED設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)國產(chǎn)化,才有可能使LED生產(chǎn)成本大幅下降,讓LED走入千家萬戶。

王敏表示,國產(chǎn)設(shè)備之所以沒上大生產(chǎn)線,跟國內(nèi)裝備業(yè)總體水平比較低有關(guān)系。我國裝備業(yè)基礎(chǔ)一直比較薄弱,即使現(xiàn)在LED應(yīng)用如火如荼,上游的材料和裝備仍沒受到應(yīng)有的重視,目前仍沒有很有實力的大企業(yè)對其進(jìn)行攻關(guān)。此外,國家也應(yīng)該集中財力對裝備業(yè)進(jìn)行支持,設(shè)立專項。同時,國家要有具體的獎勵措施,鼓勵使用國產(chǎn)設(shè)備。“還有一點必須強調(diào),設(shè)備實際上是工藝的固化,設(shè)備企業(yè)應(yīng)該和生產(chǎn)企業(yè)聯(lián)合開發(fā),這樣做能比較快地解決其與工藝脫節(jié)的問題。”王敏說。

事實上,專業(yè)人士早就指出,設(shè)備是工藝物化的產(chǎn)物,只有緊緊圍繞生產(chǎn)工藝開發(fā)成本低廉、穩(wěn)定性高的設(shè)備才能適應(yīng)生產(chǎn)線的需求,才能在實踐中得到提升和改進(jìn),最終結(jié)合自己的工藝技術(shù)開發(fā)更先進(jìn)的設(shè)備。胡曉宇表示,工藝是以設(shè)備為根本和載體,而設(shè)備是以工藝為目標(biāo),脫離工藝的設(shè)備就如同人沒有了靈魂。“我所的太陽能電池生產(chǎn)設(shè)備就是通過與工藝的緊密結(jié)合才發(fā)展到今天的大好局面。”他說。

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