中國電子設(shè)備產(chǎn)業(yè)十二五發(fā)展目標(biāo)是

    電子儀器總體技術(shù)水平達到2005年前后國際先進水平，在新一代移動通信、數(shù)字電視、綠色環(huán)保等應(yīng)用領(lǐng)域的電子儀器基本達到與國際先進水平同步。

    經(jīng)濟指標(biāo)

    “十二五”時期，我國電子專用設(shè)備產(chǎn)業(yè)將實現(xiàn)17%的年均增長速度，其中骨干企業(yè)年均增長20%，到2015年實現(xiàn)銷售收入400億元；電子儀器產(chǎn)業(yè)年均增長速度達15%，到2015年實現(xiàn)銷售收入達到1800億元。

    創(chuàng)新指標(biāo)

    12英寸65納米集成電路制造裝備實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，研發(fā)成功45納米-32納米制造裝備整機產(chǎn)品并進入生產(chǎn)線應(yīng)用。

    縮小我國集成電路設(shè)備、工藝技術(shù)水平與當(dāng)時國際先進水平的差距，除光刻機外基本縮小到1代甚至基本同步；晶硅太陽能電池設(shè)備達到國際先進水平。

    表面貼裝設(shè)備除自動貼片機外達到國際先進水平；集成電路后封裝設(shè)備、液晶顯示器件后工序設(shè)備、發(fā)光二極管（LED）設(shè)備（除金屬有機化學(xué)氣相沉積設(shè)備外）、片式元件設(shè)備、凈化設(shè)備、環(huán)境試驗設(shè)備接近國際先進水平。

     在若干技術(shù)領(lǐng)域形成具有特色的創(chuàng)新技術(shù)和創(chuàng)新產(chǎn)品，大幅提升創(chuàng)新實力和差異化競爭能力。研發(fā)出8-10種前道核心裝備、12-15種先進封裝關(guān)鍵設(shè)備并形成批量生產(chǎn)能力。