Atonarp推出創(chuàng)新計量平臺Aston,旨在提高半導(dǎo)體制造工藝的產(chǎn)量、吞吐量和效率
發(fā)布時間:2021-07-18 來源:Atonarp 責(zé)任編輯:wenwei
【導(dǎo)讀】北京 – 2021年7月16日 – 為半導(dǎo)體、保健和制藥行業(yè)提供分子傳感及診斷產(chǎn)品的領(lǐng)先制造商Atonarp今天宣布推出Aston,這是一個創(chuàng)新型原位半導(dǎo)體計量平臺,帶有集成等離子體電離源。
Aston是半導(dǎo)體生產(chǎn)計量領(lǐng)域中的一次重大演變,實現(xiàn)了原位分子過程控制,使現(xiàn)有工廠運(yùn)行更高效,并可推動產(chǎn)出提升。Aston專為半導(dǎo)體生產(chǎn)而設(shè)計,它作為一個強(qiáng)大的平臺,可以取代多種傳統(tǒng)工具,并在一系列全面應(yīng)用中提供前所未有的控制水平,包括光刻、電介質(zhì)和導(dǎo)電蝕刻及沉積、腔室清潔、腔室匹配和消解。
“通過Aston,某些應(yīng)用中的單位工藝吞吐量可以提升40%以上,這是一個很大的改進(jìn)。“對于一家典型的晶圓廠來說,即使整體產(chǎn)能提高1%,每年的產(chǎn)量也能增加價值數(shù)千萬美元。”Atonarp公司首席執(zhí)行官、首席技術(shù)官和創(chuàng)始人Prakash Murthy說,“在現(xiàn)有生產(chǎn)工藝工具上加裝Aston,可在短短6到8周內(nèi)實現(xiàn)更高產(chǎn)量,而安裝新的生產(chǎn)設(shè)備則需要長達(dá)一年的時間。這將從本質(zhì)上幫助制造商提高其生產(chǎn)水平,并有助于解決目前半導(dǎo)體晶圓廠產(chǎn)能不足的問題。”
快速、可操作的端點檢測(EPD)是運(yùn)行半導(dǎo)體工具和晶圓廠的最有效方式。到目前為止,許多工藝步驟都無法部署EPD,因為所需的原位傳感器不能經(jīng)受住苛刻的工藝或腔室清潔化學(xué)品的影響,或者會因冷凝水沉積而出現(xiàn)堵塞。因此晶圓廠不得不設(shè)定特定時間,以確保過程徹底執(zhí)行完畢。相反,Aston通過準(zhǔn)確檢測一個過程何時結(jié)束來優(yōu)化生產(chǎn),包括腔室清潔,這可將所需的清潔時間減少80%。
Aston對腐蝕性氣體和氣態(tài)污染物冷凝物具有抵抗力。它比現(xiàn)有解決方案更堅固,具有獨立的雙電離源(一個經(jīng)典的電子沖擊電離源,和一個無燈絲等離子體電離器),因此可在半導(dǎo)體生產(chǎn)中出現(xiàn)的惡劣條件下可靠運(yùn)行。這使Aston能夠原位,即在傳統(tǒng)電子電離器會迅速腐蝕和失效的苛刻環(huán)境中使用。
與傳統(tǒng)質(zhì)量分析儀相比,Aston的服務(wù)間隔時間延長了100倍。它擁有自清潔能力,可以清除某些過程中產(chǎn)生的冷凝物沉積。
由于Aston能夠自主產(chǎn)生等離子體,無論是否存在過程等離子體,均可正常運(yùn)行。這與光學(xué)發(fā)射光譜測量技術(shù)相比具有明顯的優(yōu)勢,后者需要等離子體源方可操作,這使Aston成為ALD和某些金屬沉積工藝的理想選擇,這些工藝可能會需要使用較弱的、脈沖等離子體,或無需等離子體進(jìn)行處理。
Aston還能夠通過提供量化、可操作的實時數(shù)據(jù)來提高過程一致性,并可通過人工智能推進(jìn)高性能機(jī)器學(xué)習(xí),滿足最苛刻的過程應(yīng)用。除此之外,得益于實時數(shù)據(jù)統(tǒng)計分析和腔室管理的高精確度、靈敏度和可重復(fù)性,生產(chǎn)線和產(chǎn)品產(chǎn)量也得到了提高。
Aston主要針對化學(xué)氣相沉積(CVD)和蝕刻應(yīng)用,這兩種應(yīng)用的年增長率均超過13%。該光譜儀既可在新腔室組裝時安裝在其中,也能夠加裝在已經(jīng)運(yùn)行的現(xiàn)有腔室中。
Aston還可與韓國ATI公司開發(fā)的智能壓力控制器Psi組合使用。在經(jīng)歷了為期數(shù)月的全面技術(shù)可行性評估后,這一組合解決方案最近出售給三星公司,用于一個先進(jìn)的過程控制應(yīng)用。
Aston已可直接于Atonarp,或通過Atonarp的全球合作伙伴網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行評估和訂購。
關(guān)于Atonarp
Atonarp持續(xù)引領(lǐng)生命科學(xué)、制藥和半導(dǎo)體市場分子傳感與診斷技術(shù)的數(shù)字化轉(zhuǎn)型。在統(tǒng)一軟件平臺以及光學(xué)和質(zhì)譜技術(shù)突破性創(chuàng)新的支持下,Atonarp產(chǎn)品提供實時、可操作、全面的分子特征分析數(shù)據(jù)。在一個由半導(dǎo)體、生命科學(xué)和健康診斷儀器開發(fā)及商業(yè)化領(lǐng)域世界級專家組成的團(tuán)隊的領(lǐng)導(dǎo)下,Atonarp在日本、美國和印度等國均已設(shè)立分部。敬請登陸https://atonarp.com,并了解更多信息。
推薦閱讀:
特別推薦
- 復(fù)雜的RF PCB焊接該如何確保恰到好處?
- 電源效率測試
- 科技的洪荒之力:可穿戴設(shè)備中的MEMS傳感器 助運(yùn)動員爭金奪銀
- 輕松滿足檢測距離,勞易測新型電感式傳感器IS 200系列
- Aigtek推出ATA-400系列高壓功率放大器
- TDK推出使用壽命更長和熱點溫度更高的全新氮氣填充三相交流濾波電容器
- 博瑞集信推出低噪聲、高增益平坦度、低功耗 | 低噪聲放大器系列
技術(shù)文章更多>>
- 如何選擇和應(yīng)用機(jī)電繼電器實現(xiàn)多功能且可靠的信號切換
- 基于APM32F411的移動電源控制板應(yīng)用方案
- 數(shù)字儀表與模擬儀表:它們有何區(qū)別?
- 聚焦制造業(yè)企業(yè)貨量旺季“急難愁盼”,跨越速運(yùn)打出紓困“連招”
- 選擇LDO時的主要考慮因素和挑戰(zhàn)
技術(shù)白皮書下載更多>>
- 車規(guī)與基于V2X的車輛協(xié)同主動避撞技術(shù)展望
- 數(shù)字隔離助力新能源汽車安全隔離的新挑戰(zhàn)
- 汽車模塊拋負(fù)載的解決方案
- 車用連接器的安全創(chuàng)新應(yīng)用
- Melexis Actuators Business Unit
- Position / Current Sensors - Triaxis Hall
熱門搜索
光收發(fā)器
光通訊器件
光纖連接器
軌道交通
國防航空
過流保護(hù)器
過熱保護(hù)
過壓保護(hù)
焊接設(shè)備
焊錫焊膏
恒溫振蕩器
恒壓變壓器
恒壓穩(wěn)壓器
紅外收發(fā)器
紅外線加熱
厚膜電阻
互連技術(shù)
滑動分壓器
滑動開關(guān)
輝曄
混合保護(hù)器
混合動力汽車
混頻器
霍爾傳感器
機(jī)電元件
基創(chuàng)卓越
激光二極管
激光器
計步器
繼電器