如果Ω表示角速率， r 表示半徑，切向速度即為Ωr。所以，如果在速度為v時，r改變，則會產(chǎn)生切向加速度Ωv。其值是科氏加速度的一半。另一半來自徑向速度方向的改變，總共為2Ωv。如果您施加質(zhì)量體(M)，那么平臺必須施加力—2MΩv—來產(chǎn)生這種加速度，那么質(zhì)量體也會經(jīng)受對應(yīng)的反作用力。ADXRS645通過使用與人在旋轉(zhuǎn)平臺上向中心和向外緣移動時對應(yīng)的諧振質(zhì)量體來利用這種效應(yīng)。質(zhì)量體是采用多晶硅，通過微機械加工而成，并粘接在多晶硅框架上，所以它只能沿一個方向諧振。

 

圖2. 科氏效應(yīng)演示：響應(yīng)懸掛在框架內(nèi)的硅質(zhì)量體的諧振。綠色箭頭表示結(jié)構(gòu)受到的力（基于諧振質(zhì)量體的狀態(tài)）。

 

圖2顯示，當諧振質(zhì)量體向旋轉(zhuǎn)平臺的外緣移動時，它向右加速，并向左對框架施加一個反作用力。當它向旋轉(zhuǎn)中心移動時，它向右施加一個力，如綠色箭頭所示。

 

為了測量科氏加速度，我們使用與諧振運動方向呈90°的彈簧，將包含諧振質(zhì)量體的框架連接到襯底上，具體如圖3所示。此圖還顯示了科氏檢測指針，它通過電容轉(zhuǎn)導(dǎo)，在受到施加給質(zhì)量體的力影響時檢測框架的位移。

 

圖3. 該陀螺儀的機械架構(gòu)原理圖。

 

圖4顯示完整的結(jié)構(gòu)，從中可以看出，當諧振質(zhì)量體移動，陀螺儀所在的安裝平面旋轉(zhuǎn)時，質(zhì)量體和其框架會受到科氏加速度影響，并因為振動旋轉(zhuǎn)90°。隨著轉(zhuǎn)速加快，質(zhì)量體的位置和從對應(yīng)的電容獲取的信號發(fā)生改變。需要注意的是，陀螺儀可以按任意角度放置在旋轉(zhuǎn)物體的任意位置，只要它的檢測軸與旋轉(zhuǎn)軸平行即可。

 

圖4. 框架和諧振質(zhì)量體受科氏效應(yīng)影響，產(chǎn)生橫向位移。

 

電容檢測

 

ADXRS645通過附加在諧振器上的電容傳感元件來測量諧振質(zhì)量體和框架因科氏效應(yīng)產(chǎn)生的位移，具體如圖4所示。這些元件都是硅棒，與襯底上連接的兩組固定硅棒交錯，形成兩個名義上相等的電容。角速率引起的位移會在系統(tǒng)中產(chǎn)生差分電容。

 

在實際應(yīng)用中，科氏加速度是一個極小的信號，會導(dǎo)致幾分之 一埃的射束偏轉(zhuǎn)，以及仄法級別的電容變化（譯者注：1仄法=1e-21法拉）。因此，最大限度降低對寄生源（例如溫度、封裝應(yīng)力、外部加速度和電噪聲）的相互干擾是極為重要的。這種作用一部分是通過將電子器件（包括放大器和濾波器）和機械傳感器放置在同一裸片上來實現(xiàn)的。但是，更重要的是在信號鏈中距離盡可能遠的位置實施差分測量，并將信號與諧振器速度關(guān)聯(lián)起來，尤其是在處理外部加速度產(chǎn)生的影響時。

 

振動抑制

 

理想情況下，陀螺儀只對轉(zhuǎn)速敏感，對其他東西都不敏感。在實際應(yīng)用中，由于陀螺儀的機械設(shè)計不對稱，且/或微加工精度不夠，所有陀螺儀都對加速度有一定的敏感性。事實上，加速度靈敏度有多種表現(xiàn)形式——其嚴重程度因設(shè)計而異。最為嚴重的通常要屬對線性加速度的靈敏度（或 g 靈敏度）和振動整流的靈敏度（或 g 2 靈敏度），嚴重到足以完全抵消該器件的額定偏置穩(wěn)定性。當速率輸入量超過額定測量范圍時，有些陀螺儀軌與軌之間的輸出會存在差異。其他陀螺儀在受到低至幾百 g 的沖擊時，會傾向于鎖死。這些陀螺儀不會受到?jīng)_擊損壞，但是也無法再對速率做出響應(yīng)，需要進行重啟。

 

ADXRS645采用了一種新穎的角速率檢測方法，使其能夠抑制高達1000 g 的沖擊。它使用四個諧振器對信號實施差分檢測，并抑制與角移動無關(guān)的共模外部加速度。圖5頂部和底部的諧振器彼此獨立，并且是反相操作的。所以，它們測量的旋轉(zhuǎn)幅度相同，但輸出方向相反。因此，利用傳感器信號之間的差值來測量角速率。如此可以消除對兩個傳感器造成影響的非旋轉(zhuǎn)信號。信號在前置放大器前面的內(nèi)部硬連線中組合。因此，會在很大程度上防止極端加速過載到達電子器件，從而使得信號調(diào)理能在受到大型沖擊時保持角速率輸出。

 

圖5. 四通道差分傳感器設(shè)計。

 

傳感器安裝

 

圖6所示為陀螺儀、相關(guān)的驅(qū)動和檢測電路的簡化原理圖。

 

圖6. 集成式陀螺儀的框圖。

 

諧振器電路檢測諧振質(zhì)量體的速度，進行放大，并驅(qū)動諧振器，同時相對于科氏信號路徑保持一個控制良好的相位（或延遲）?？剖想娐繁挥糜跈z測加速度計框架的移動，利用下游信號處理來提取科氏加速度的幅度，并生成與輸入轉(zhuǎn)速一致的輸出信號。此外，自檢功能會檢查整個信號鏈（包括傳感器）的完整性。

 

應(yīng)用示例

 

對于電子設(shè)備來說，最嚴苛的使用環(huán)境莫過于石油和天然氣的井下鉆井行業(yè)。這些系統(tǒng)利用大量傳感器來更好地了解鉆柱在地表下的運行狀況，以優(yōu)化操作并防止造成損壞。鉆機的轉(zhuǎn)速以RPM為單位測量，是鉆機操作員時刻需要掌握的一個關(guān)鍵指標。以前，這個指標由磁力計計算得出。但是，磁力計容易受到鉆機套管和周圍井眼中的鐵質(zhì)材料影響。它們還必須采用特殊的無磁性鉆環(huán)（外殼）。

 

除了簡單的RPM測量之外，人們越來越熱衷于了解鉆柱動態(tài)，以更好地管理施加的力的大小、轉(zhuǎn)速和轉(zhuǎn)向等參數(shù)。鉆柱動態(tài)如果管理不善，可能導(dǎo)致鉆柱高度振動和出現(xiàn)極不穩(wěn)定的移動，這會導(dǎo)致目標區(qū)域的鉆井時間延長、設(shè)備過早故障、鉆頭轉(zhuǎn)向困難，且會對鉆井本身造成損壞。在極端情況下，設(shè)備可能斷裂并殘留在鉆井中，之后需要支付極高的成本才能取回。

 

因鉆柱參數(shù)管理不善會導(dǎo)致一種特別有害的移動，即粘滑。粘滑是指鉆頭卡住，但鉆柱頂部繼續(xù)旋轉(zhuǎn)的現(xiàn)象。鉆頭被卡住后，鉆柱底部持續(xù)轉(zhuǎn)動收緊，直到達到足夠扭矩，造成斷裂和松脫，這種斷裂通常非常劇烈。發(fā)生這種情況時，鉆頭上會出現(xiàn)按轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)的大尖峰。粘滑一般周期性發(fā)生，可以持續(xù)很長一段時間。對粘滑的典型RPM響應(yīng)如圖7所示。由于地表的鉆柱繼續(xù)正常運行，鉆機操作員通常無法意識到，井下正在發(fā)生這種非常具有破壞性的現(xiàn)象。

 

圖7. 粘滑循環(huán)RPM剖面圖示例。

 

在這種應(yīng)用中，一個關(guān)鍵的測量方法是準確、頻繁地測量鉆頭附近的轉(zhuǎn)速。陀螺儀（例如具有振動抑制效果的ADXRS645）非常適合執(zhí)行這項任務(wù)，因為其測量不受鉆柱的線性移動影響。在出現(xiàn)高度振動和不穩(wěn)定移動時，磁力儀計算得出的轉(zhuǎn)速易受噪聲和誤差影響?；谕勇輧x的解決方案能夠即時測量得出轉(zhuǎn)速，且不使用易受沖擊和振動影響的過零或其他算法。

 

此外，相比磁通磁力計解決方案，基于陀螺儀的電路體積更小，需要的元器件數(shù)量更少，而前者需要多個磁力計軸和額外的驅(qū)動電路。ADXRS645中集成了信號調(diào)理功能。此器件采用低功耗、低引腳數(shù)封裝，支持高溫IC對陀螺儀模擬輸出采樣并將其數(shù)字化。采用圖8中所示的簡化信號鏈，可以實現(xiàn)提供數(shù)字輸出、額定溫度為175°C的陀螺儀電路。

 

圖8. 額定溫度為175°C的陀螺儀數(shù)字輸出信號鏈。

 

總結(jié)

 

本文介紹了可在175°C高溫環(huán)境下使用的MEMS陀螺儀——ADXRS645。此傳感器能在惡劣的環(huán)境應(yīng)用中準確測量角速率，防止沖擊和振動造成影響。此陀螺儀由一系列高溫IC提供支持，以獲取信號并進行處理。

 

ADXRS645

●創(chuàng)新型陶瓷垂直安裝封裝可針對俯仰率或滾轉(zhuǎn)率響應(yīng)來調(diào)整方向

●寬溫度范圍：−40°C 至 +175°C

●長使用壽命：在 TA = 175°C 的溫度下保證 1000 小時

●在寬頻率范圍內(nèi)具有高防振性能

●10,000 g 動力沖擊生存能力

●與基準電壓源成比率

●5 V 單電源供電

●收到數(shù)字命令時自檢

●溫度傳感器輸出
(來源：亞德諾半導(dǎo)體）